目前,MEMS傳感器技術(shù)研發(fā)主要在以下幾個方向(1)微型化的同時降低功耗(2)提高精度(3)實現(xiàn)MEMS傳感器的集成化及智慧化(4)開發(fā)與光學(xué)生物學(xué)等技術(shù)領(lǐng)域交叉融合的新型傳感器,如MOMES傳感器(與微光學(xué)結(jié)合)生物化學(xué)傳感器(與生物技術(shù)電化學(xué)結(jié)合)以及納米傳感器(與納米技術(shù)結(jié)合)
目前,MEMS傳感器技術(shù)研發(fā)主要在以下幾個方向(1)微型化的同時降低功耗(2)提高精度(3)實現(xiàn)MEMS傳感器的集成化及智慧化(4)開發(fā)與光學(xué)生物學(xué)等技術(shù)領(lǐng)域交叉融合的新型傳感器,...
目前,MEMS傳感器技術(shù)研發(fā)主要在以下幾個方向(1)微型化的...